基于傳遞矩陣法的柔性微定位平臺(tái)動(dòng)態(tài)特性研究

摘要： 隨著精密微定位技術(shù)的發(fā)展，對(duì)柔性微定位平臺(tái)的動(dòng)態(tài)特性研究越發(fā)重要。傳遞矩陣法(TMM)作為分析多體系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)的一種有效方法，具有建模方便、計(jì)算精度高等優(yōu)勢(shì)。為此，基于傳遞矩陣法建立微定位平臺(tái)的動(dòng)力學(xué)模型，以分析其動(dòng)態(tài)特性。介紹傳遞矩陣法的基本思想并建立柔性機(jī)構(gòu)的傳遞方程，推導(dǎo)了其在任意激勵(lì)下的瞬時(shí)動(dòng)力響應(yīng)；基于柔性鉸鏈和柔性梁設(shè)計(jì)了一種XY柔性微定位平臺(tái)并推導(dǎo)出其支鏈及平臺(tái)整體... （共12頁(yè)）