全局與局部多尺度特征融合晶圓缺陷分類網絡

摘要： 在半導體制造領域，晶圓缺陷分類是確保產品質量的重要步驟。然而，由于晶圓缺陷的多樣性和復雜性，現有的混合型晶圓缺陷分類網絡在準確性上仍然存在不足。針對這一問題，提出了一種基于全局和局部多尺度特征融合的混合型晶圓缺陷分類網絡—MLG-Net。MLG-Net由3個主要模塊組成：特征提取模塊、全局分支和局部分支。該網絡旨在更好地提取和利用晶圓缺陷圖像的全局語義信息與局部細節(jié)特征，這兩種... （共11頁）