多頻磁場耦合的絕對式平面二維時(shí)柵位移傳感器

摘要： 針對增量式平面二維時(shí)柵位移傳感器上電需找零的問題，設(shè)計(jì)了一種基于多頻磁場耦合的絕對式平面二維時(shí)柵位移傳感器，其采用不同頻率分時(shí)驅(qū)動激勵電信號，降低傳感器電路功耗的同時(shí)，使X,Y方向的信號解耦合二維絕對位置解算更加簡單可靠。首先，建立激勵線圈磁場分布數(shù)學(xué)模型，根據(jù)空間磁場分布特性分析激勵線圈寬度與耦和氣隙高度的關(guān)系；基于差動結(jié)構(gòu)的增量式二維時(shí)柵位移傳感器結(jié)構(gòu)，建立對極數(shù)互質(zhì)結(jié)構(gòu)的... （共21頁）