脈沖放電驅(qū)動(dòng)磨料流輔助磨削單晶碳化硅研究

摘要： 單晶碳化硅作為半導(dǎo)體材料，其被加工表面及亞表面質(zhì)量直接影響到電、磁、光等工作性能，但在高精度的機(jī)械加工中，納米切深的不可控和高速主軸轉(zhuǎn)動(dòng)的刀具端跳會(huì)產(chǎn)生不穩(wěn)定的切削力，導(dǎo)致表面微毛刺和改性層以及亞表面殘余應(yīng)力和損傷。因此，在單晶碳化硅的金剛石磨削中，利用砂輪與工件間的脈沖放電驅(qū)動(dòng)游離磨料流動(dòng)，抵消機(jī)械作用對(duì)其表面及亞表面的影響，探究機(jī)械加工、磨料流拋光和熱化學(xué)去除的復(fù)合加工對(duì)表... （共10頁）