激光復(fù)合加工硬脆性材料研究進(jìn)展綜述

摘要： 玻璃、半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、陶瓷和硬質(zhì)合金等硬脆性材料被廣泛應(yīng)用于建筑、生物醫(yī)療、航空航天、集成電路、新能源、光電顯示、軌道交通、海洋等領(lǐng)域。但是其高硬度、大脆性、高耐磨性和耐腐蝕等特性也給它們的加工帶來巨大挑戰(zhàn)。目前，機(jī)械加工、離子束加工、化學(xué)蝕刻、激光加工等方式是加工硬脆性材料的主要方法。但是這些加工方式依然存在加工效率和加工質(zhì)量不可兼得的瓶頸問題。為此，研究人員提出了將激光加工... （共21頁）