氫燃料電池金屬雙極板表面TiC/a-C:H涂層的制備和表征

摘要： 研究沉積離子能量對沉積在氫燃料電池金屬雙極板表面的TiC/a-C:H涂層導(dǎo)電性和耐腐蝕性能影響。通過磁過濾真空陰極弧沉積技術(shù)以Ti靶為Ti源，通入乙炔氣體在–100～–500 V基體負(fù)偏壓下于SS 304不銹鋼和單晶硅表面沉積了厚度為0.52～1.05μm的TiC/a-C:H復(fù)合涂層，研究分析了涂層的微觀結(jié)構(gòu)、涂層成分、相結(jié)構(gòu)、耐腐蝕性能和導(dǎo)電性能的變化規(guī)律。結(jié)果表明，在–10... （共8頁）