X波段Si基片集成脊波導(dǎo)MEMS環(huán)行器
微納電子技術(shù)
頁數(shù)： 6 2024-04-11
摘要： 基于波導(dǎo)傳輸理論設(shè)計(jì)并制備了一款Si基片集成脊波導(dǎo)(RSIW)微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)環(huán)行器，該環(huán)形器以高阻硅作為襯底材料，采用高精度三維MEMS加工工藝制備而成。通過在基片集成波導(dǎo)(SIW)結(jié)構(gòu)中添加脊梁結(jié)構(gòu)，形成RSIW傳輸結(jié)構(gòu)，使傳輸主模TE10模的截止頻率比矩形波導(dǎo)TE10模的低，從而實(shí)現(xiàn)相同頻率下更小的器件尺寸。同時(shí)，通過電磁仿真軟件對(duì)射頻匹配和磁場分布進(jìn)行了精確的... （共6頁）
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