微納光柵MOEMS加速度計優(yōu)化設計與測試

摘要： 提出了一種基于微納光柵泰伯效應的微光機電系統(tǒng)(MOEMS)加速度計，通過Comsol軟件對加速度計結構和光柵結構參數進行優(yōu)化，使其在20g量程范圍內獲得較大的結構靈敏度和衍射效應靈敏度，同時通過仿真分析了該結構的交叉軸串擾情況。由于受外界溫度起伏影響，雙層光柵結構間距受熱膨脹系數的影響產生相對位移。為了減小由于溫度起伏對光柵加速度計零偏的影響，采用溫度閉環(huán)反饋控制技術將加速度計... （共7頁）