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高反鏡表面顆粒物在連續(xù)激光輻照下的吸收特性

半導(dǎo)體光電 頁(yè)數(shù): 6 2024-08-15
摘要: 光學(xué)元件表面吸收損耗是衡量光學(xué)元件光學(xué)性能的重要指標(biāo),顆粒污染物附著通常會(huì)引起光學(xué)元件表面吸收損耗大幅增加。基于紅外熱像儀溫升檢測(cè)方法,研究了幾種典型顆粒污染物對(duì)高反鏡表面吸收損耗的影響,并根據(jù)顆粒污染物分布特點(diǎn)建立階梯式分布吸收和離散分布吸收模型??紤]測(cè)溫精度受紅外熱像儀空間分辨率的影響,提取單像素點(diǎn)內(nèi)溫升數(shù)據(jù)進(jìn)行有限元分析,獲取精度與單像素點(diǎn)相當(dāng)?shù)腻兡ぴ砻婢植课論p耗,... (共6頁(yè))

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