線性調頻激光回饋粒度探測靈敏度提升方法

摘要： 激光回饋(或激光自混合干涉)技術在位移、距離、速度、振動等傳統(tǒng)物理量測量領域具有廣泛的研究和應用.近20年來,這項技術在納米粒度檢測中也展示出了巨大的前景,其測量原理是:基于激光束與照射區(qū)域每個粒子相互作用的非相干疊加,粒子直徑可以通過激光回饋信號功率譜的洛倫茲擬合而求出.激光回饋粒度檢測一般使用恒流驅動的半導體激光器,其信號功率譜峰會位于零頻附近,只呈現(xiàn)出右側部分,有些使用固... （共8頁）