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基于歸一化的高精度EUV反射率測(cè)試技術(shù)研究

中國(guó)激光 頁(yè)數(shù)： 7 2023-11-21
摘要： 基于使用氣體放電等離子體（DPP）極紫外（EUV）光源自研的小型反射率測(cè)試裝置，分析了DPP光源參數(shù)及不同型號(hào)探測(cè)器對(duì)反射率測(cè)試的影響，提出了一種能量歸一化的反射率測(cè)試方法，并測(cè)試了13.5 nm波長(zhǎng)下Mo/Si多層膜反射鏡的反射率特性。研究結(jié)果表明：在相同光源參數(shù)下，SXUV100型探測(cè)器的極紫外能量探測(cè)性能優(yōu)于AXUV100G型；通過(guò)歸一化使光能量波動(dòng)對(duì)反射率測(cè)試光束的波動(dòng)... （共7頁(yè)）

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