硅片近邊緣形態(tài)的研究進(jìn)展

摘要： 關(guān)于硅片近邊緣形態(tài)已有的研究主要集中在評(píng)價(jià)方法、工藝改進(jìn)以及加工裝置上。國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）標(biāo)準(zhǔn)量化評(píng)價(jià)硅片近邊緣形態(tài)，約定了有關(guān)硅片近邊緣卷曲度（ROA）、近邊緣曲率、近邊緣局部平整度、近邊緣不完整區(qū)域局部平整度的評(píng)價(jià)方法，可以依據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景選擇適合的評(píng)價(jià)方法來判斷近邊緣形態(tài)。對(duì)于硅片近邊緣形態(tài)的測(cè)量手段，可以分為近邊緣卷曲（ERO）和近邊緣微粗糙度兩個(gè)方面。探... （共8頁）