一種高密度壓電變形鏡驅(qū)動電源的設(shè)計

摘要： 壓電變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的執(zhí)行機構(gòu)。針對壓電變形鏡高精度、高動態(tài)應(yīng)用的問題，設(shè)計了一款新型的壓電陶瓷驅(qū)動電源，同時采取線性校正網(wǎng)絡(luò)確保了放大電路的穩(wěn)定性，并對影響輸出精確度及非線性失真的原因進行了分析。實驗結(jié)果表明，當(dāng)驅(qū)動容性負(fù)載為0.33μF時，該驅(qū)動電源的大信號帶寬可達3 kHz,階躍響應(yīng)的上升時間優(yōu)于80μs,下降時間優(yōu)于130μs,輸出線性度為99.6%。 （共6頁）