基于鈀納米顆粒導(dǎo)電溝道的室溫型氫氣傳感器的研究

摘要： 隨著氫能的廣泛應(yīng)用，檢測氫氣（H₂）泄漏十分必要。采用溶劑熱法合成鈀（Pd）納米顆粒，結(jié)合旋涂法從極大程度上簡化了覆蓋敏感層工藝，在利用微機電系統(tǒng)（MEMS）工藝制備的硅基金（Au）叉指電極上研究了基于“氫致Pd晶格膨脹效應(yīng)（HILE）”的裂結(jié)式H₂傳感器的敏感特性，為低成本批量化制備室溫型氫氣傳感器提供了可行性研究。結(jié)果表明該傳感器對H₂的響應(yīng)值與Pd納米顆粒在基底上的... （共6頁）