MOCVD全名叫有機(jī)金屬化學(xué)氣象沉積設(shè)備,是在藍(lán)寶石設(shè)備上生長(zhǎng)GaN的薄膜的專用設(shè)備,GaN材料是化合物半導(dǎo)體材料的一種,它是用來做LED(發(fā)光二極管)的主要材料。
MOCVD設(shè)備是LED藍(lán)寶石基片外延的專業(yè)設(shè)備,一塊2英寸0.43mm厚度的藍(lán)寶石外延后可以做55000個(gè)超亮LED燈的基片,液晶顯示器的背投光源現(xiàn)在也都選擇藍(lán)寶石外延片做,藍(lán)寶石的化學(xué)名稱叫三氧化二鋁,硬度9級(jí)僅次于金剛石。
目前國(guó)內(nèi)多家企業(yè)已經(jīng)生產(chǎn)出MOCVD設(shè)備,并且有多家外延芯片企業(yè)正在試用,重大裝備國(guó)產(chǎn)化的希望之星已然誕生,正在逐漸形成星火燎原之勢(shì)。國(guó)產(chǎn)設(shè)備的出現(xiàn),帶來了一系列優(yōu)異的本地化服務(wù),也直接影響到了進(jìn)口設(shè)備廠商的產(chǎn)品價(jià)格和服務(wù)態(tài)度。特別是國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備的出現(xiàn),雖然現(xiàn)在還沒有形成氣候,但是已經(jīng)使得進(jìn)口MOCVD設(shè)備價(jià)格大幅下降,生產(chǎn)商服務(wù)態(tài)度大幅好轉(zhuǎn),生產(chǎn)企業(yè)也從中直接受益。
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