FTIR

　　用于半導(dǎo)體制造業(yè)。FTIR乃利用紅外線光譜經(jīng)傅利葉轉(zhuǎn)換進(jìn)而分析雜質(zhì)濃度的光譜分析儀器。

　　目前所有的紅外光譜儀都是都是傅里葉變換型的，光譜儀主要由光源（硅碳棒、高壓汞燈）、邁克爾遜干涉儀、檢測(cè)器和干涉儀組成。而傅里葉變換紅外光譜儀的核心部分是邁克爾遜干涉儀，把樣品放在檢測(cè)器前，由于樣品對(duì)某些頻率的紅外光產(chǎn)生吸收，使檢測(cè)器接受到的干涉光強(qiáng)度發(fā)生變化，從而得到各種不同樣品的干涉圖。這種干涉圖是光隨動(dòng)鏡移動(dòng)距離的變化曲線，借助傅里葉變換函數(shù)可得到光強(qiáng)隨頻率變化的頻域圖。這一過(guò)程可有計(jì)算機(jī)完成。

　　用傅里葉變換紅外光譜儀測(cè)量樣品的紅外光譜包括以下幾個(gè)步驟：

　　1）、分別收集背景（無(wú)樣品時(shí)）的干涉圖及樣品的干涉圖；

　　2）、分別通過(guò)傅里葉變換將上述干涉圖轉(zhuǎn)化為單光束紅外光；

　　3）、將樣品的單光束光譜處以背景的單光束光譜，得到樣品的透射光譜或吸收光譜。