能譜儀 又名：EDS,分散譜儀

　　目前最常用的是Si（Li）X射線能譜儀，其關鍵部件是Si（Li）檢測器，即鋰漂移硅固態(tài)檢測器，它實際上是一個以Li為施主雜質的n-i-p型二極管。

　　（1）分析速度快。 能譜儀可以同時接受和檢測所有不同能量的X射線光子信號，故可在幾分鐘內分析和確定樣品中含有的所有元素，帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍為11Na~92U，20世紀80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析Be以上的輕元素，探測元素的范圍為4Be~92U.

　?。?）靈敏度高。X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si（Li）探頭可以放在離發(fā)射源很近的地方（10㎝左右），無需經過晶體衍射，信號強度幾乎沒有損失，所以靈敏度高（可達104cps/nA，入射電子束單位強度所產生的X射線計數率）。此外，能譜儀可在低入射電子束流（10-11A）條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。

　　（3）譜線重復性好。由于能譜儀沒有運動部件，穩(wěn)定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析工作。