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 一般條件下,薄膜應力的測量都是在薄膜制備以后,甚至是放置了很多天以后進行。所得到的薄膜應力是薄膜的終態(tài)應力,它不僅包含了薄膜應力發(fā)生發(fā)展的全部信息,還包含了薄膜制備之后,環(huán)境、時效及所有的物理化學過程對薄膜應力 (共 6639 字) [閱讀本文] >>
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 一般條件下,薄膜應力的測量都是在薄膜制備以后,甚至是放置了很多天以后進行。所得到的薄膜應力是薄膜的終態(tài)應力,它不僅包含了薄膜應力發(fā)生發(fā)展的全部信息,還包含了薄膜制備之后,環(huán)境、時效及所有的物理化學過程對薄膜應力 (共 6639 字) [閱讀本文] >>